1. 2022/04/09

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      設備制造

      1、蒸發臺

      用途:

      應用于半導體、LED制造中正面鍍金屬及背面金屬化。適用于科研院所、大學、半導體行業、LED行業。

      產品特點:

      n              滿足高產出、高精度、高可靠的要求

      n              最佳化蒸鍍腔及抽氣系統設計

      n              獨特的夾具設計,可靠性極佳,對于薄硅片,能有效的減少碎片率

      n              合理的外觀設計,有效的減少空間,降低潔凈廠房的空間成本全自動化設計,減少人為干預的不確定因素所帶來的產品質量風險,滿足FAB日益增長的自動化需求

      n              蒸鍍過程參數的全程記錄,對異常及失效分析提供可靠的追述

      n              根據客戶工藝流程量身定制控制系統


      技術參數:

      裝片量

      5寸/42片,6寸/24片

      抽速

      30min內到 2E-6 Torr

      極限真空

      2小時內 2.0E-7Torr

      漏率

      5.00E-05

      膜厚均勻性

      <10%,33000A
      100個樣片值統計值(1%)

      反射率

      220(33KA AL)

      加熱穩定性

      +1°C,過沖3°C(設定150°C)

      自動化控制系統

      HMI+PLC(可選PC+PLC)

      數據記錄

      保存3月以上

      電氣需求

      380VAC 3相5線,50HZ,100A,(電壓可選208V)

      E-Gun功率

      8KW(10KW可選)

      真空泵

      冷泵+旋轉葉片式油泵

      CDA需求

      >80PSI

      N2需求

      >20PSI

      冷卻水需求

      1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min

      尺寸(寬X深X高)

      1640X1700X1800(所有部件都包含在框架內,不再需要額外的空間)

      重量

      750Kg

      產品優點:

       1、對行星架的加工精度降低:

      MARK50方式若行星架邊緣角度、圓度要求很高,稍有變形就產生振動,對薄片容易產生裂紋,行星架的壽命短。

      2、對軌道的要求降低:

      MARK50對軌道有角度、平整度的、水平度要求很高,加工精度不到位,行星架容易產生振動

      3、對驅動三角架的要求降低:

      MARK50對驅動三角架與軌道之間的安裝配合要求很高:

      三角架轉動的軸線與軌道中心的軸線要一直,不然會產生振動,行星架之間打架,轉動過程中行星架會掉落

      4、對驅動桿的要求:

      MARK50對驅動桿的角度,長度,之間的垂直度有很高的要求,不然行星架振動很大

      性能比較:

      項目

      本機

      MARK50

      ULVAC EI-5Z

      備注

      裝片量

      42

      42

      24

      產出根據工藝不同有所差

      抽速

      30min

      30min

      50min

      達到2.0E-6Torr

      極限真空

      2.0E-7Torr

      5.0E-7Torr

      5.0E-7Torr

      4小時

      漏率

      5.00E-05

      3.00E-03


      torr/min

      膜厚均勻性

      <10%(1%),33000A
      8個樣片統計值

      <10%(6.25%),17000A,
      100
      個SPC片的統計值

      <10%(8.63%)8500A 100個SPC片統計值


      反射率

      220

      209

      201

      AL 33KA,工藝條件相同

      行星架旋轉

      平穩,無噪聲

      振動大,有噪聲
      會掉行星架

      平穩,無噪聲


      加熱穩定性

      +1°C,過沖3°C

      ±5°C,過沖10°C

      ±2°C,過沖5°C

      設定溫度150°C

      控制方式

      觸摸屏+PLC,自動

      按鈕,手動

      PC機+PLC,自動


      數據記錄



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